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    機(jī)電薄膜e31測(cè)試儀 aix4PB 機(jī)電薄膜e31測(cè)試儀 aix4PB(Electromechanical thin film e31 analyzer )薄膜材料的機(jī)電性能是MEMS器件設(shè)計(jì)的關(guān)鍵性能,縱向壓電系數(shù)d33和橫向壓電系數(shù)...
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